微结构热偶型微波功率传感器

一、项目简介

    热偶型微波功率传感器的原理是热电偶热结吸收微波功率温度升高，在冷热结之间产生温度差，利用热电偶的热电效应产生电势差，从而将温度差转化为热电势输出。电子所传感技术国家重点实验室采用进的微电子机械系统（MEMS）制造技术，研制出一种新型三维微结构高灵敏度半导体－金属薄膜热偶敏感元件并同有特色的微波传输线路相结合，组成新一代的微波功率传感器。这种传感器不仅灵敏度高，而且检测频带宽、精度高、响应快、可靠性好，易于批量生产。目前已研制出这种传感器的初样器件，各项性能指标均达到实用化要求。

    主要性能指标为：

    测试范围: １μＷ－１００ｍＷ      频带:0-18GHz

    灵敏度：～1mV/mW                  响应时间：10ms 

二、市场分析

    功率测量在电磁测量中占有举足轻重的地位，功率计是电磁测量中不可缺少的仪表，需求量极大。目前国内功率传感器仍停留在采用热敏电阻、热电薄膜等类型，可靠性差、精度低、频带窄，远远落后于国际先进水平。本项目开发成功，将改变我国微波功率测量技术落后、功率计探头传感器依靠进口的落后状态，具有十分广阔的市场应用前景

三、合作方式

    技术转让、合作开发。