微结构气敏传感器与电子鼻

一、项目简介

    气敏传感器与电子鼻有着广阔的应用前景，如食品工业、化学工业、环境监测、安全检查、医学诊断、航空航天、军事国防等等。而航空航天、军事国防等领域对微型低功耗的气敏传感器与基于微传感器阵列的微型嗅觉系统的需求更为迫切。

    电子所在国内首先采用MEMS技术研制成功低功耗硅基膜片型微结构气敏传感器。当工作温度为300℃时其功耗小于75mW。这种微结构单元已达到同类器件的国际水平。用液延生长和热氧化法（RGTO）、射频（RF）溅射法等制备SnO2基敏感薄膜，研制出灵敏度高、稳定性较好的CO、H2S、可燃气体等多种气敏传感器。研制成具有自动进样装置的台式电子鼻系统样机，能很好地识别各种不同的有机溶剂、不同品牌的白酒及不同标号的汽油。微型嗅觉系统正在研制中。

二、应用领域

    气敏传感器与电子鼻可应用于食品工业、化学工业、环境监测、安全检查、医学诊断、航空航天、军事国防等众多领域。

三、合作方式

    合作开发。