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大面积等离子体源技术及其应用

文章来源:    点击数:2526    更新时间:2009-4-3 16:26:34    

 

一、项目介绍

    1等离子体技术可作为重要的辅助加工手段应用于以下领域:

l         半导体集成电路及其它微电子设备的制造

l         工具、模具及工程金属的硬化

l         药品的生物相溶性包装材料的制备

l         表面上防蚀及其它薄层的沉积

l         优质陶瓷,包括超导材料

l         新的化学物质及材料制造

l         金属的提炼

l         聚合物薄膜的印刷和制备

l         有害废物的处理

l         焊接

l         磁记录材料和光学波导材料

l         精细加工

l         照明及显示

l         电子电路及等离子体二极管开关

2、对上述某些部分领域的目前潜在市场估计:

l         半导体工业-260亿美圆

l         等离子体电子学-4000亿美圆

l         工具及模具硬化-20亿美圆

l         作记录和医用聚合物薄膜领域-有几十亿美圆的市场

3、对一些新的有活力的市场估计:

l         金属腐蚀防护-500亿美圆

l         优质陶瓷-50亿美圆

    4、在废物处理、金属提炼、包装材料及制药业中的应用-有几十亿美圆的市场。、

二、合作方式

    面议

 

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