大面积等离子体源技术及其应用
2009-04-03 点击数：2503
一、项目介绍
1等离子体技术可作为重要的辅助加工手段应用于以下领域：
l 半导体集成电路及其它微电子设备的制造
l 工具、模具及工程金属的硬化
l 药品的生物相溶性包装材料的制备
l 表面上防蚀及其它薄层的沉积
l 优质陶瓷，包括超导材料
l 新的化学物质及材料制造
l 金属的提炼
l 聚合物薄膜的印刷和制备
l 有害废物的处理
l 焊接
l 磁记录材料和光学波导材料
l 精细加工
l 照明及显示
l 电子电路及等离子体二极管开关
2、对上述某些部分领域的目前潜在市场估计：
l 半导体工业-260亿美圆
l 等离子体电子学-4000亿美圆
l 工具及模具硬化-20亿美圆
l 作记录和医用聚合物薄膜领域-有几十亿美圆的市场
3、对一些新的有活力的市场估计：
l 金属腐蚀防护-500亿美圆
l 优质陶瓷-50亿美圆
4、在废物处理、金属提炼、包装材料及制药业中的应用-有几十亿美圆的市场。、
二、合作方式
面议
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